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锐欧泰科技取得光刻机双频激光干涉仪反射镜调整结构专利,调整起来更加便利

信息来源:jjjlll.com   时间: 2026-09-16  浏览次数:53


本文源自:市场资讯

国家知识产权局信息显示,天津市锐欧泰科技有限公司取得一项名为“光刻机双频激光干涉仪反射镜调整结构”的专利,授权公告号CN223637887U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本实用新型公开了光刻机双频激光干涉仪反射镜调整结构,属于光刻机领域,包括反射镜体和套在反射镜体外侧的镜框,镜框顶部连接有调整组件,镜框底部连接有转盘,转盘外侧活动套设有底座,调整组件包括防护罩,防护罩套在镜框外侧,防护罩顶端通过连接组件与镜框顶端连接,底座顶部开设有环形滑槽,防护罩底端延伸入环形滑槽内,防护罩内设有收纳腔,收纳腔内滑动设有弧形板。本实用新型通过防护罩辅助调整反射镜体的旋转角度,并且利用防护罩与弧形板配合能够在反射镜体外侧进行防护,以免调整过程中误碰镜框影响镜框与转盘之间的连接牢固性,同时防护罩体积大,调整起来更加便利。

天眼查资料显示,天津市锐欧泰科技有限公司,成立于2015年,位于天津市,是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析,天津市锐欧泰科技有限公司共对外投资了1家企业,此外企业还拥有行政许可2个。

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